中国科学院大学硕士研究生导师信息:邓文渊
2022.09.16 07:35

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  中国科学院大学硕士研究生导师信息:邓文渊

  邓文渊 男 硕导 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

  电子邮件: dengwy@ciomp.ac.cn

  通信地址: 长春市东南湖大路3888号

  邮政编码:

  招生信息

  招生专业

  080300-光学工程

  招生方向

  光学薄膜及器件

  教育背景

  2004-09--2008-02 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 博士

  2000-09--2003-04 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 硕士

  1992-09--1995-07 南昌大学 大学

  工作经历

  工作简历

  2009-10~2021-07,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员

  2004-09~2008-02,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 博士

  2003-04~2009-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员

  2000-09~2003-04,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 硕士

  1995-07~2000-09,江西省赣州监狱, 副中队长

  1992-09~1995-07,南昌大学, 大学

  专利与奖励

  专利成果

  ( 1 ) 一种EUV多层膜光学元件的综合测试装置与及其测试方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110726504.1

  ( 2 ) 一种EUV掩膜板对准标记及其优化方法和制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110726501.8

  ( 3 ) 一种深紫外波段宽带分束膜制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 108169827

  ( 4 ) 一种CaF2光学基底清洗方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910935258.3

  ( 5 ) 一种减反射膜的制备方法及大角度入射减反射膜, 2019, 第 1 作者, 专利号: 106772710

  ( 6 ) 一种CaF2光学基底表面和亚表面损伤探测方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 106404746

  ( 7 ) 一种CaF2光学基底深紫外激光辐射诱导表面变化检测方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 106404745

  ( 8 ) 一种制备多层膜元件过程中非灵敏层误差控制方法及装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: 106756864

  ( 9 ) CaF2光学薄膜元件的制备方法及CaF2光学薄膜元件, 2018, 第 1 作者, 专利号: 106405688

  ( 10 ) UV光的应用方法及UV光薄膜处理应用装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: 105855243

  ( 11 ) 光学薄膜及元件表面激光损伤的高灵敏快速在线探测方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 105021627

  ( 12 ) 一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510962345.x

  ( 13 ) 一种极紫外光学元件表面污染清洗装置及方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510963031.1

  出版信息

  发表论文

  (1) Plasma-ion-assited deposition of HfO2 films with low UV absorption, Surface & Coating Technolo gy, 2020, 第 1 作者

  (2) Laser induced damage threshold testing of DUV optical materials, CHINESE OPTICS LETTERS, 2013, 第 1 作者

  (3) Characterization of Interfacial Layer of DUV coatings by Sepctroscopic Elliptrometry, Advanced Material Research, 2013, 第 1 作者

  (4) Optimal design and fabrication method for antireflection coatings for P-polarized 193 nm laser beam at large angles of incidence (68°–74°), J. Opt. Soc. Am. A, 2013, 第 4 作者

  (5) Analysis of spectral components in the 1.5 lm emission band of Er3+ doped borosilicate glass, Journal of Non-Crystalline Solids, 2004, 第 1 作者

  科研活动

  科研项目

  ( 1 ) ArF光源光学薄膜元件研制, 参与, 国家任务, 2013-01--2021-06

  ( 2 ) 极紫外光刻机核心子系统攻关与验证, 参与, 国家任务, 2019-01--2021-06

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