微机电工程专业简介
微机电工程是涉及微型机械、微电子、物理、材料、化学、生物等领域的综合性、交叉性新学科。该专业涉及介观物理、细观力学、微细加工、微纳测量与控制、功能材料与微纳器件等诸多学科基础理论与工程技术，被誉为对21世纪科技前沿发展具有重大影响的关键学科之一，应用前景广阔。该学科点是同时拥有硕士学位和博士学位授予权的学科点，并设有机械工程博士后科研流动站。该学科着重培养面向生化微纳机电系统、微传感器与微执行器、微机器人与微装配系统等科学研究、设计制造、产品研发需求的高层次专门人才。
该学科建有微系统研究中心，由王立鼎院士领导下的多位教授、副教授和其他教师组成。经过“九五”、“十五”、“211工程”和“985工程”的重点建设，建有面积为950平方米的恒温洁净实验室，有配套的微细加工和测试设备，是“微纳米技术及系统”辽宁省重点实验室。近年来先后承担了国家重大基础研究发展规划“973”项目、国家高技术研究“863”计划项目、国家支撑计划、国家自然科学基金重大、重点、面上项目和多项省市纵向课题，获国家科技进步二等奖2项、全国科学大会奖1项及省部级科技进步奖十余项，在国内外发表了相当数量的论文并获有多项专利，还与美国、德国、香港、台湾等国家和地区的有关单位开展了广泛的合作与交流。
研究方向
1．微机电系统
2．微纳加工工艺
3．生化微系统
4．微传感器与微执行器
5．微机器人与微装配系统