| 姓 名 | 刘晓为 | 性 别 | 男 | 出生年月 |
|---|---|---|---|---|
| 所在院校 | 哈尔滨工业大学 | 所在院系 | 微电子学与固体电子学 | |
| 职称 | 教授 | 招生专业 | 微电子学与固体电子学 | |
| 研究领域 | MEMS、传感器与执行器及集成电路 |
| 联系方式 | lxw@hit.edu.cn | 电 话 | 0451******* | 邮 编 | 0 | |
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| 地 址 |
| 个人简介 |
| 1978-1982年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件专业获学士学位 1984-1988年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件与微电子学专业获硕士学位 1988-1992年：哈尔滨工业大学航天学院讲师 1992-1999年：哈尔滨工业大学航天学院副教授 1999-2003年：哈尔滨工业大学航天学院教授 2003- 目前：哈尔滨工业大学航天学院博士生导师 总装微纳米技术专家组 成员； 总装军用电子元器件型谱系列专家组成员； 电子学会 敏感技术分会 力敏专业委员会 副主任； 东北微机电系统（MEMS）技术联合体 副秘书长； 《传感器技术》 编委； 黑龙江省政协委员。 1978-1982年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件专业获学士学位 1984-1988年：毕业于哈尔滨工业大学半导体器件与微电子学专业获硕士学位 1988-1992年：哈尔滨工业大学航天学院讲师 1992-1999年：哈尔滨工业大学航天学院副教授 1999-2003年：哈尔滨工业大学航天学院教授 2003- 目前：哈尔滨工业大学航天学院博士生导师 总装微纳米技术专家组 成员； 总装军用电子元器件型谱系列专家组成员； 电子学会 敏感技术分会 力敏专业委员会 副主任； 东北微机电系统（MEMS）技术联合体 副秘书长； 《传感器技术》 编委； 黑龙江省政协委员。 |
| 著作及论文 |
| [1]刘晓为等, 硼掺杂多晶硅薄膜电阻率的温度特性, 半导体学报, 1994,15(6):429-434 [2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149 [3]刘晓为等, 电容式加速度传感器的计算机模拟, 压电与声光, 2001.10:170~172 [4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10. [5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10. [6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10. [7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMI’99. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08. [8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07. [9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07. [10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05. [1]刘晓为等, 硼掺杂多晶硅薄膜电阻率的温度特性, 半导体学报, 1994,15(6):429-434 [2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149 [3]刘晓为等, 电容式加速度传感器的计算机模拟, 压电与声光, 2001.10:170~172 [4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10. [5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10. [6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10. [7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMI’99. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08. [8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07. [9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07. [10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05. |