西北工业大学2018年博士招生微机电系统及纳米技术考试大纲
博士研究生招生院校发布的考博大纲是考生们参考复习的权威资料，考试大纲包括了考博考试内容范围、考试题型和分值分配，有时其中还会包括参考书目。请考生们认真阅读。
(3042)《微机电系统及纳米技术》专业综合五
考试内容：
1.微机电系统相关概念
2.微加工技术
3. 微型传感器
4. 微型致动器
5. 微机电系统设计
6. 主要的MEMS材料及相关知识
7. 微检测技术
参考书目：
1. Chang Liu 著，黄庆安译，微机电系统基础，机械工业出版社，2007年
2.苑伟政 马炳和著，微机械与微细加工技术，西北工业大学出版社，2000年